Contact: Christophe LEVALLOIS




L’équipe OHM de l’Institut Foton dispose d’équipements et savoir-faire en micro et nano-fabrication de composants et dispositifs optoélectroniques et en packaging.
La salle blanche ISO4-ISO5 de 120 m², comprend notamment :
- Système de photolithographie UV
- Évaporateurs de couches minces métalliques par faisceau d’électrons
- Au, Ti, Pt, Ge, Pd, Ni, Al, Cr, …
- Évaporateurs de couches minces diélectriques par pulvérisation cathodique ou PECVD
- Si, Si3N4, SiO2 …
- Gravures chimiques et/ou assistées par plasma (RIE) de matériaux multiples
- Mesure d’épaisseur par profilométrie à stylet
- Four à recuit rapide (RTA)
- Système de micro-câblage de dispositifs (Au, Al)
Plus d’information sur les compétences et équipements de l’équipe en Technologie en salle blanche / composants sont disponibles sur les pages dédiées de la plateforme nanoRennes: Pôle couche mince, Photolithographie et chimie, Micro et Nano-usinage, Packaging.
Personnels techniques impliqués
Technologie en salle blanche / composants