août 2021 – août 2027

EquipEx+ (ANR-21-ESRE-0012)

Cofinancements:

Contexte

NANOFUTUR, projet d’investissement, est porté par la communauté académique française des nanotechnologies et fédère le réseau RENATECH+ (5 centrales RENATECH et 28 centrales régionales récemment associées). Le réseau RENATECH+, piloté par le CNRS, comprend aujourd’hui des unités mixtes associant le CNRS, le CEA ainsi que des universités et des écoles d’ingénieur. NANOFUTUR a identifié les équipements, majeurs pour la communauté scientifique française, permettant de rester compétitif afin de relever des défis en nanofabrication et nanotechnologies de la décennie à venir : 1) en photonique pour le traitement de l’information, (2) en spintronique, (3) pour les technologies TeraHertz, (4) pour les nanobiotechnologies, (5) pour les capteurs en environnement sévère et (6) en nano-manipulation et nano-assemblage.

C’est dans ce cadre que se situe le projet d’implantation d’un cluster d’épitaxie à l’Institut FOTON. L’objectif principal est de connecter sous ultra-vide aux équipements existants une nouvelle chambre de croissance de semi-conducteurs à source gazeuse, en épitaxie par jets moléculaire, ainsi qu’une chambre de préparation hydrogène. Le nouveau cluster de croissance cristalline ainsi formé, constitué de deux chambres d’épitaxie de semi-conducteurs III-V phosphures, une chambre d’épitaxie du silicium et d’une chambre de préparation hydrogène se positionnera comme un équipement de pointe en Europe pour la réalisation de composants photoniques et dans le domaine de l’énergie.

Ce projet bénéficie de co-financements importants des tutelles CNRS, INSA Rennes, du PEPR Electronique, et de Rennes métropole.

Production scientifique

24 documents

Articles dans une revue13 documents

  • Matthieu Sagot, Timothée Derkenne, Perrine Giunchi, Yohan Davit, Jean-Philippe Nougayrède, et al.. Functionality integration in stereolithography 3D printed microfluidics using a “print-pause-print” strategy. Lab on a Chip, 2024, 24 (14), pp.3508-3520. ⟨10.1039/D4LC00147H⟩. ⟨hal-04632660⟩
  • Vage Karakhanyan, Roland Salut, Miguel Angel Suarez, Nicolas Martin, Thierry Grosjean. Optical Spin Waves. Nano Letters, 2024, 24 (27), pp.8296-8302. ⟨10.1021/acs.nanolett.4c01346⟩. ⟨hal-04665765⟩
  • M. Rahimi, K. Sobnath, L. Chen, F. Mallet, P. Lafarge, et al.. Probing the electric and thermoelectric response of ferroelectric 2H and 3R α-In2Se3. Applied Physics Letters, 2024, 124 (25), ⟨10.1063/5.0202871⟩. ⟨hal-04665755⟩
  • Vage Karakhanyan, Thierry Grosjean. Optomagnetism with a plasmonic skyrmion. Optics Letters, 2024, 49 (12), pp.3440. ⟨10.1364/OL.525758⟩. ⟨hal-04665778⟩
  • Khac Huy Dinh, Grace Whang, Antonella Iadecola, Houssine Makhlouf, Antoine Barnabé, et al.. Nanofeather ruthenium nitride electrodes for electrochemical capacitors. Nature Materials, 2024, Nature Materials, ⟨10.1038/s41563-024-01816-0⟩. ⟨hal-04495652⟩
  • Manoj Gupta, Abhishek Kumar, Prakash Pitchappa, Yi Ji Tan, Pascal Szriftgiser, et al.. 150 Gbps THz Chipscale Topological Photonic Diplexer. Advanced Materials, 2024, ⟨10.1002/adma.202309497⟩. ⟨hal-04465640⟩
  • Philippe Boucaud, Nagesh Bhat, Maksym Gromovyi, Moustafa El Kurdi, Antoine Reserbat-Plantey, et al.. Perspectives for III-Nitride photonic platforms. Nano Futures, 2024, 8 (2), pp.022001. ⟨10.1088/2399-1984/ad41aa⟩. ⟨hal-04560375⟩
  • Abdu Subahan Mohammed, Gaëtan Lévêque, Edouard Lebouvier, Yan Pennec, Marc Faucher, et al.. Engineering the breaking of topological protection in valley photonic crystals enables to design chip level functions for THz 6G communications and beyond. Journal of Lightwave Technology, 2024, pp.1 - 13. ⟨10.1109/jlt.2024.3423659⟩. ⟨hal-04664538⟩
  • Minh Tuan Dau, Mohamed Al Khalfioui, Adrien Michon, Antoine Reserbat-Plantey, Stéphane Vézian, et al.. Descriptor engineering in machine learning regression of electronic structure properties for 2D materials. Scientific Reports, 2023, 13, ⟨10.1038/s41598-023-31928-7⟩. ⟨hal-04058161⟩
  • M. Rahimi, K. Sobnath, F. Mallet, P. Lafarge, C. Barraud, et al.. Complete Determination of Thermoelectric and Thermal Properties of Supported Few-Layer Two-Dimensional Materials. Physical Review Applied, 2023, 19 (3), pp.034075. ⟨10.1103/PhysRevApplied.19.034075⟩. ⟨hal-04460454⟩
  • C. Morelle, D. Théron, I. Roch-Jeune, Pascal Tilmant, Etienne Okada, et al.. A micro-electro-mechanical accelerometer based on gallium nitride on silicon. Applied Physics Letters, 2023, 122 (3), pp.033502. ⟨10.1063/5.0127987⟩. ⟨hal-03945292⟩
  • D. Pirrone, A. Ferraro, D. Zografopoulos, W. Fuscaldo, P. Szriftgiser, et al.. Metasurface-based Filters for High Data Rate THz Wireless Communications: Experimental Validation of a 14 Gbps OOK and 104 Gbps QAM-16 Wireless Link in the 300 GHz band. IEEE Transactions on Wireless Communications, 2022, 21 (10), pp.8688-8697. ⟨10.1109/TWC.2022.3168399⟩. ⟨hal-03666533⟩
  • Myungsoo Kim, Guillaume Ducournau, Simon Skrzypczak, Sung Jin Yang, Pascal Szriftgiser, et al.. Monolayer molybdenum disulfide switches for 6G communication systems. Nature Electronics, 2022, 5, pp.367-373. ⟨10.1038/s41928-022-00766-2⟩. ⟨hal-03689339⟩

Communications dans un congrès10 documents

  • C. Cornet. Solar Hydrogen production. PEPR H2 training school, Oct 2024, La Grande Motte, France. ⟨hal-04745150⟩
  • C. Cornet, Gabriel Loget, Hanh Le Vi, Bienvenu Boulingui Koumba, Bruno Fabre, et al.. Photo-electrochemistry with III-V/Si semiconductors for cost-efficient solar water splitting. Journées Nano, Micro et Optoélectronique (JNMO) - 2024, Oct 2024, Sete, France. ⟨hal-04745168⟩
  • Hadjer Nihel Khelil, Alexandre Renau, Pascal Szriftgiser, Yannick Roelens, Rédha Kassi, et al.. Aggregated 0.3 Tbit/s link using Photonics-transmitter and micromachined flat array antenna over 315-410 GHz. 2024 54th European Microwave Conference (EuMC), Sep 2024, Paris, France. pp.413-416, ⟨10.23919/EuMC61614.2024.10732246⟩. ⟨hal-04764889⟩
  • R. Younes, M. Samnouni, Sylvie Lepilliet, Nicolas Wichmann, Guillaume Ducournau, et al.. 250MHz to 1.1THz measurement of an InP-HEMT using on-wafer multiline Thru-Reflect-Line calibration. 2024 54th European Microwave Conference (EuMC), Sep 2024, Paris, France. pp.824-827, ⟨10.23919/EuMC61614.2024.10732877⟩. ⟨hal-04764957⟩
  • A.S. Mohammed, Gaëtan Lévêque, Edouard Lebouvier, Yan Pennec, Marc Faucher, et al.. 120 Gbit/s aggregated channel transmission in the 600 GHz band using topological waveguide. 2024 54th European Microwave Conference (EuMC), Sep 2024, Paris, France. pp.401-404, ⟨10.23919/EuMC61614.2024.10732201⟩. ⟨hal-04764865⟩
  • Beatriz Orfao, Mohammed Zaknoune, Malek Zegaoui, Javier Mateos, Tomás González, et al.. GaN Schottky Diodes Parameter Extraction Model from S-Parameters Measurement. 2024 19th European Microwave Integrated Circuits Conference (EuMIC), Sep 2024, Paris, France. pp.375-378, ⟨10.23919/EuMIC61603.2024.10732802⟩. ⟨hal-04765693⟩
  • Hugo Bouillaud, Yannick Roelens, Etienne Okada, Jeanne Treuttel, Priyanka Mondal, et al.. Characterization of Schottky Diodes at Wafer Level for Frequency Multipliers Applications Based on RF Coplanar Measurements. 2024 19th European Microwave Integrated Circuits Conference (EuMIC), Sep 2024, Paris, France. pp.387-390, ⟨10.23919/EuMIC61603.2024.10732752⟩. ⟨hal-04765465⟩
  • Maud Jullien, Tony Rohel, Nicolas Chevalier, Anthony Rambaud, Rozenn Gautheron-Bernard, et al.. EQUIPEX NANOFUTUR : IMPLANTATION D'UN CLUSTER DE CROISSANCE POUR LES MATÉRIAUX ET COMPOSANTS III-V EPITAXIES A L'INSTITUT FOTON. MATEPI 2023, Jul 2023, Paris, France. ⟨hal-04225150⟩
  • Guillaume Ducournau, Davy Gaillot, Aritrio Bandyopadhyay, Malek Zegaoui, Mohammed Zaknoune, et al.. Towards Tbit/s THz communications. 2022 IEEE International Topical Meeting on Microwave Photonics (MWP), Oct 2022, Orlando, United States. pp.1-2, ⟨10.1109/MWP54208.2022.9997701⟩. ⟨hal-03959360⟩
  • Laurenz John, Dominik Wrana, Benjamin Schoch, Arnulf Leuther, Pascal Szriftgiser, et al.. Non-linear impairments of 300 GHz MPAs for THz communications. 2022 47th International Conference on Infrared, Millimeter and Terahertz Waves (IRMMW-THz), Aug 2022, Delft, Netherlands. pp.1-2, ⟨10.1109/IRMMW-THz50927.2022.9895996⟩. ⟨hal-03794362⟩

Poster de conférence1 document

  • Cyril Guines, Hiba Lahlimi Alami, Aurélien Perigaud, Nicolas Delhote, Arnaud Pothier, et al.. Micro-fabrication Additive 3D de Structures Métalliques pour Dispositifs sub-Terahertz avec Résolution Micronique. PEPR Electronique - Action Concertée Transverse Packaging, May 2024, Toulouse, France. ⟨hal-04688842⟩

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Partenaires

Réseau RENATECH+

Coordinateur

Michel DE LABACHELERIE (CNRS-INSIS)

Financement

ANR (17.5 M€, iFOTON: 1.1 M€)

Projet total iFOTON incluant les cofinancements: 1.5 M€

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EQUIPEX NANOFUTUR: Investissements en NANOfabrication pour les nanotechnologies du FUTUR
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