Clean room technology / devices 

Contact: Christophe LEVALLOIS

L’équipe OHM de l’Institut Foton dispose d’équipements et savoir-faire en micro et nano-fabrication de composants et dispositifs optoélectroniques et en packaging.

La salle blanche ISO4-ISO5 de 120 m², comprend notamment :

• Système de photolithographie UV
• Évaporateurs de couches minces métalliques par faisceau d’électrons
  • Au, Ti, Pt, Ge, Pd, Ni, Al, Cr, …
• Évaporateurs de couches minces diélectriques par pulvérisation cathodique ou PECVD
  • Si, Si₃N₄, SiO₂ …
• Gravures chimiques et/ou assistées par plasma (RIE) de matériaux multiples
• Mesure d’épaisseur par profilométrie à stylet
• Four à recuit rapide (RTA)
• Système de micro-câblage de dispositifs (Au, Al)

Plus d’information sur les compétences et équipements de l’équipe en Technologie en salle blanche / composants sont disponibles sur les pages dédiées de la plateforme nanoRennes: Pôle couche mince, Photolithographie et chimie, Micro et Nano-usinage, Packaging.

Personnels techniques impliqués